產(chǎn)品用途
MX-40BD半導體檢測顯微鏡采用無限遠色差校正光學系統(tǒng)，具有大視野、成像質量高、功能擴展性強(明場/暗場/偏振光/DIC觀察)、大平臺等特點；同時配有長工作距半復消色差物鏡和可快速和慢速移動的大行程載物臺，尤其適合半導體掩模板、液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗。
產(chǎn)品特點
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安全、穩(wěn)重的機架結構設計: 工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機架，保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。其前置低手位粗微調同軸調焦機構，內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器，可適應不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設計有風循環(huán)散熱系統(tǒng)，長時間使用也不會使機架過熱
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透反射照明器: 單顆大功率5W白色LED照明，帶斜照明機構。切換至斜照明時，可以使物體表面不同材質部分呈現(xiàn)立體圖案，增加觀察的對比度與視覺效果
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電動物鏡轉換器: MX-40BD采用6孔全自動電動裝盤（帶DIC插槽），重復定位精度高，物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制，根據(jù)需求可配置不同孔位的轉換器
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長工作距金相物鏡：采用半復消色差技術，其使用的多層寬帶鍍膜技術，使整個視場內(nèi)的成像清晰銳利，色彩自然，明亮舒適。更有50X和100X全復消色差金相物鏡可供選擇，大幅拓展了該機型的應用領域。
產(chǎn)品規(guī)格
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規(guī)格參數(shù)
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MX-40BD
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光路系統(tǒng)
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無限遠色差校正光學系統(tǒng)
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●
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觀察頭
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鉸鏈三通觀察筒，30°傾斜，360°旋轉；瞳距范圍：50mm～76mm
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●
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反像,視度調節(jié)±5°；兩檔分光比R:T=100:0
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●
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目鏡
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高眼點大視野平場目鏡WF10X(Φ23mm)
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●
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無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡
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倍率
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數(shù)值孔徑(N.A.)
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工作距離(W.D.)
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●
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BD 5×-DIC
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0.15
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15.0mm
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BD 10×-DIC
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0.3
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8.40mm
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BD 20×-DIC
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0.4
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11.90mm
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BD 50×-DIC
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0.75
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3.00mm
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明暗場半復物鏡
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BD
100×(選配)
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0.9
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1.0mm
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○
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放大倍數(shù)
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50×-500×
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●
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電動物鏡轉輪
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電動明暗場6孔轉換器（帶DIC插槽）
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●
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透反射用機架
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6*4英寸雙層機械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調節(jié)
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●
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平臺面積310*240mm，移動行程：150mmX100mm機械平臺，X、Y方向同軸調節(jié)
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內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，采用數(shù)字調光，具有光強設定與復位功能
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調焦機構
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粗、微動同軸低手位調焦機構、帶鎖緊和限位裝置
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●
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微動格值0.001mm、粗調行程35mm
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DIC微分干涉
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DIC微分干涉觀察組件(選配)
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○
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簡易偏光裝置
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φ30起偏鏡插板（反射用）、360度旋轉式檢偏鏡插板（反射用）
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●
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聚光鏡
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搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9）
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反射照明系統(tǒng)
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柯拉照明系統(tǒng)，帶視場光闌與孔徑光闌，中心可調
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●
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100-240V寬電壓,單顆大功率5W LED，暖色
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透射照明系統(tǒng)
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內(nèi)置5W暖色LED透射光照明系統(tǒng)，上下光可獨立控制
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●
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數(shù)碼成像系統(tǒng)
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高質量0.65X CCD適配鏡
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●
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Puda 630萬USB型進口芯片數(shù)字顯微鏡攝像機(采用SONY
6.3M/IMX178(C)，1/1.8“ (7.37x4.92)，59@3072 x2048，59@1536x 1024高性能芯片組/
USB3.0高速通訊，高分辨率、精準的色彩還原處理/ Ultra-Fine顏色引擎，確保顏色精準再現(xiàn))
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專業(yè)的圖像分析軟件（專業(yè)的圖像軟件(圖像采集/影像輸入/相機控制/視頻操作/圖像處理/圖像測量/圖像融合(景深擴展)/圖像拼接/清晰度對焦因子/動態(tài)圖像灰度值定標(可保證拍攝圖像明暗程度的一致性和連貫性)
/插件功能)）
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可升級配件
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明暗場全復消色差金相物鏡
50X NA0.55 WD8.0 (可選)
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○
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明暗場全復消色差金相物鏡 100X NA0.80 WD2.8 (可選)
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○
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移動平臺6寸、8寸、12寸透反射 (可選)
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○
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晶圓旋轉臺 (可選)
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○
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目鏡：10×(分劃)
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○
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注解：●為標配、○為可升級配件
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特別聲明：
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